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    隨著國家照明工程的起步，國內(nèi)LED芯片設(shè)備的巨大需求再次引起了國外半導(dǎo)體設(shè)備生產(chǎn)商的積極響應(yīng)，他們?nèi)找嬷匾曋袊�這個(gè)巨大的市場。但是，這里面也存在著一個(gè)隱憂，國外芯片設(shè)備高昂的價(jià)格，相對(duì)制約了國內(nèi)企業(yè)的規(guī)模化、產(chǎn)業(yè)化發(fā)展，也消耗了國家大量寶貴的外匯，同樣也擠占了國內(nèi)設(shè)備生產(chǎn)商的發(fā)展空間。目前我國內(nèi)地在LED上游差距非常大，主要指MOCVD處延材料水平不高，規(guī)模不大，投入不夠，人才缺乏，在中低檔比臺(tái)灣規(guī)模小得多，高檔基本沒有。中游芯片生產(chǎn)技術(shù)一般，規(guī)模不夠。下游封裝總量不小，規(guī)模都不大，產(chǎn)品檔次不高，技術(shù)含量及利潤率不高。大多數(shù)廠家只能占據(jù)低端產(chǎn)品市場，這需要國家進(jìn)一步加大投資和扶持的力度。當(dāng)然，國內(nèi)LED芯片設(shè)備生產(chǎn)廠家也在積極做這方面的工作，其中大部分都是原來生產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備的廠商，有多年研制和生產(chǎn)LED設(shè)備的巨大潛力，也做出了很大成績。在國內(nèi)市場中也有自己的一席之地，并逐步為市場所接受。開發(fā)生產(chǎn)國產(chǎn)的LED生產(chǎn)設(shè)備，大力提高LED芯片設(shè)備的國產(chǎn)化率，不僅可以滿足日益增長的市場需求，也可以降低LED產(chǎn)業(yè)化發(fā)展的投資門檻，客觀上促進(jìn)整個(gè)LED產(chǎn)業(yè)的發(fā)展。

    中國電子科技集團(tuán)公司第十三研究所成立于1956年，是一所規(guī)模大、技術(shù)力量雄厚、專業(yè)結(jié)構(gòu)配套的綜合性半導(dǎo)體研究所。十三所不僅有LED的工藝生產(chǎn)企業(yè)河北立德光電公司，還有專業(yè)的半導(dǎo)體設(shè)備公司。設(shè)備公司的前身(微電子設(shè)備中心)組建于1963年，擁有雄厚的設(shè)計(jì)力量和加工力量。曾研制出我國第一臺(tái)600KEV高能離子注入機(jī)、我國第一臺(tái)高壓單晶爐。承攬了多項(xiàng)國家攻關(guān)項(xiàng)目MOCVD、VPE、準(zhǔn)分子光刻機(jī)等大型設(shè)備，并多次獲得部級(jí)科技進(jìn)步獎(jiǎng)。先后研制生產(chǎn)了一百多種半導(dǎo)體工藝設(shè)備，在國內(nèi)外半導(dǎo)體工藝線以及LED生產(chǎn)線上發(fā)揮著重要作用。比較有代表性的產(chǎn)品有光刻機(jī)、等離子去膠臺(tái)、快速合金爐(4英寸和6英寸)、探針臺(tái)、擴(kuò)散爐和退火爐、清洗機(jī)以及正在開發(fā)的芯片倒裝焊機(jī)等。使用單位中比較有影響的有南昌欣磊光電科技有限公司、廈門三安電子有限公司、河北立德光電公司、山東華光光電公司、南昌大學(xué)等一批國內(nèi)的LED知名企業(yè)和科研院校，不僅解決了企業(yè)的設(shè)備需求，也為企業(yè)節(jié)省了外匯，同時(shí)也鍛煉了我們的設(shè)備研發(fā)隊(duì)伍，掌握了LED生產(chǎn)設(shè)備需求特殊性，開發(fā)出適銷對(duì)路的可靠設(shè)備。總之，中國的LED產(chǎn)業(yè)需要包括LED生產(chǎn)企業(yè)、設(shè)備制造企業(yè)以及國家等多方面的努力。才可以迅速地成長起來，并在國際大環(huán)境中占有自己的一席之地。